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    硅片缺陷检测解决方案检测系统

    2021-11-29 10:56

    硅片是制作晶体管和集成电路的原料。一般是单晶硅的切片。硅片,是制作集成电路的重要材料。光伏行业近年来越来越重视硅片等产品的质量检测,以往常见的硅片会出现尺寸不合格、崩边、隐裂等问题。那么国辰是如何解决这一问题的呢?下面和我一起去看看吧

    【瑕疵问题】

    尺寸不合格、崩边、隐裂,四边产生缺角、破碎等缺陷问题。如这些缺陷不能即时快速的被发现,将会影响到的产品的质量

    【解决方法】

    我们运用机器视觉的原理,对生产线上的硅片进行实时图像摄取,并通过专门开发的图像处理分析软件对图像进行分析,判断硅片四周是否有缺陷。如检测到有缺陷,就会通过声、光报警提示操作人员及时处理。同时缺陷硅片的图像被存储到计算机,供事后查询、分析。

    【硅片在线检测工艺流程】

    硅片在线检测工艺流程

    【产品特点】

    1、深度算法:可以根据不良品综合多维度的边界特征,进行训练,做到很多传统算法不能做到的检测项目,不断提高检测精度;

    2、缺陷标识:发现瑕疵时可进行声光报警,同时产品幅面边缘可以进行自动标记,提示及时修复,避免大量缺陷产品的产生;

    3、信息打?。涸诩觳獾借Υ檬毕低郴嶙远臣瞥龅鼻拌Υ玫耐枷?、面积、位置、大小等信息,同时可连接打印机选择打印信息;

    4、数据库管理:可以对生产的每卷材料进行精确的质量统计,详细的缺陷记录和统计为生产工艺及设备状态提供了方便,有效保证产品质量;

    5、系统联动:当系统检测到疵点时进行声光报警,也可在系统中加入其它连锁I/O输出;

    6、统计分析:功能丰富的OA软件,具备存贮、报警、统计分析、报表等功能;

    【检测效果】

    通过不断优化模板设置,进行大批量的测试,检测系统可检出非常微小的崩边、隐裂,四边产生缺角、破碎等缺陷问题。这些硅片的提前剔除为提升后道工序的品质、减少后续工艺浪费有重要意义。且检出>99%,误检率<0.05%,响应时间0.1s,得到了客户的认可。

    硅片在线检测效果

    小结:目前解决硅片检测的重要方法是依托机器视觉技术进行解决,通过在线视觉检测技术实现对人工检测的替换,提升检测的准确性和减少人力成本。

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